クレファイン

半導体メーカーD社 製造技術部

精密化や微細化が進むデバイスの潜在的な故障リスクを防ぎたい…

半導体の厳密な静電気放電対策を可能にする樹脂材料とは

精密化や微細化が進むデバイスの潜在的な故障リスクを防ぎたい…半導体の厳密な静電気放電対策を可能にする樹脂材料とは

解決

解決のポイント

  • 材料による静電気放電対策には表面抵抗値を静電気拡散性領域内でコントロールすることが有効

  • クレファインを使用すると、表面抵抗値を106~1012Ωの静電気拡散性領域内で±1乗Ωの精度で設定可能

  • 表面抵抗値は射出成形条件にほとんど依存しないため、特別な成形技術は不要

  • 厳密な静電気対策として、クレファインとイオナイザーを併用する事例が増えている

イオナイザーとの併用で、表面抵抗値のコントロールが可能に

半導体製造装置メーカーに対して静電気拡散性材料の採用を求める傍ら、製造技術部のメンバーも各自が情報収集を進めることにしました。A氏はあるとき、参加した展示会で「Krefine(クレファイン)」という樹脂材料を見つけ、目を留めました。クレファインは、特殊炭素材料とコンパウンディング技術を組み合わせた静電気対策製品でした。興味を持ったA氏は担当者に詳しく話を聞いたところ、次のような特長があることが分かりました。

通常はコントロールが困難であった表面抵抗値を、±1乗Ωの精度で106~1012Ωの範囲で安定的にコントロールできること。しかも、この表面抵抗値は射出成形条件にほとんど依存しないため、特別な成形技術は不要とのことでした。

「いろいろと話を聞いて、クレファインなら弊社が抱えていた課題を解決できるかもしれないと期待を抱きました。」(A氏)

A氏は展示会のブースにいた担当者に、自社が直面している課題を詳しく伝えることにしました。するとその担当者は、先進的な取り組みをしている工場では既に、厳密な静電気対策としてクレファインとイオナイザーを併せて使用している例が増えていることを教えてくれました。

それを聞いたA氏は早速、社内でクレファインの情報を共有し、採用に向けた検討を進めていきました。話はすぐに進み、新設する工場では、製造工程でデバイスを保持するチャックとピン、搬送工程で使用するトレーに、クレファインを採用することが決定しました。

その後、D社はクレファインを半導体製造装置メーカーに紹介し、指定する装置部品についても使用を要請することにしました。無事に納入先メーカーからの合意も得ることができ、現在は製造のための準備を進めています。

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