半導体装置メーカーE社 商品開発部
デバイス寿命に影響をおよぼすESDダメージを何とかしないと、このままでは…
表面抵抗率のバラツキを抑え、表面と内部の抵抗値を同レベルにできた樹脂の実力とは?
解決
解決のポイント
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クレハグループの樹脂素材Krefine(クレファイン)で試作したところ、電気抵抗率がプロセッシング条件にほとんど依存しないなど、今までの課題がすべてクリア
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出荷検査とは違う負荷テストを行っても、寿命が短くなるデバイスは見つからなかった
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クレファインを採用した搬送容器をESD対策シリーズとして販売することが決定
クレハグループの樹脂素材Krefine(クレファイン)の活用で、搬送容器のESD対策を実現!
解決策を求めて引き続き情報収集を進めていたK氏は、ちょうど開催されていたESD対策技術のワークショップに参加することにしました。そして、その講演の中で紹介されていたKrefine(クレファイン)という樹脂材料に着目したのです。
「講演が終わったところで、すぐに担当者と話をしました。そこで現状の課題を伝え、クレファインの詳細を教えてもらったのですが、今までに試した帯電防止材料では難しかった課題を、何とかクリアできそうな感触を得ました。」(K氏)
商品開発部内で検討の上、K氏はクレファインのサンプルを取り寄せ、早速、試作を行ってみました。すると、電気抵抗率がプロセッシング条件にほとんど依存しないことが分かったのです。また、成形品の各々のポイントで表面抵抗率にバラツキが生じませんでした。つまり、成形品表面と内部の抵抗値を同レベルに設定できたのです。
「すぐにこの試作品を取引先に届けて、実装による評価を依頼しました。すると、出荷検査とは違うさまざまな負荷テストを行っても、寿命が短くなるデバイスは見つかりませんでした。」(K氏)
この結果を受け、K氏はクレハグループ会社の協力も受けながらこのテストと試作、評価を何度も実施し、問題がないことを確信します。
最終的には、クレファインを採用した搬送容器をESD対策シリーズとして販売することが決定したのでした。